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R. Catrin C. Gachot, G. Marchand, U. Schmid, F. Mücklich „Selective Wet Chemical Etching of Metallic Thin Films Designed by Laser Interference Metallurgy (LIMET)“ SPIE Proceedings 7362 2009   736217-1-6 Conference proceeding: SPIE Europe Microtechnologies for the New Millennium (Dresden, 4-6 Mai 09) | DOI:10.1117/12.821333 | PDF verfügbar published formated output



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