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F. Soldera G. Burdiles, U. Schmid, H. Seidel, F. Mücklich „Investigation of the Interaction between Electrical Discharges and Low Resistivity Silicon Substrates“ Applied Surface Science 254 2008 7 2150-2157 DOI: 10.1016/j.apsusc.2007.08.087 | PDF verfügbar published formated output



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