Stand: 5.12.2017, 11:09



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K.M. Calamba I.C. Schramm, M.P. Johansson Joesaar, J. Ghanbaja, J.F. Pierson, F. Mücklich, M. Odén „Enhanced thermal stability and mechanical properties of nitrogen deficient titanium aluminum nitride (Ti0.54AI0.46Ny) thin films by tuning the applied negative bias voltage“ Journal of Applied Physics 122 2017 255     published formated output



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